Analizador de Boro online en agua ultrapura para aplicaciones de microelectrónica modelo Boron Ultra

Monitorización continua y en línea del boro hasta niveles de una sola parte por billón (ppt) A medida que los chips semiconductores se reducen y se vuelven más complejos, la demanda de agua ultrapura (UPW) de alta calidad es fundamental. Incluso la más mínima contaminación puede causar defectos significativos, por lo que la detección temprana de impurezas es esencial en la fabricación de microelectrónica. El nuevo analizador Sievers Boron Ultra, es el único analizador de boro en línea en tiempo real en el mercado que monitorea el boro en agua ultrapura a las partes individuales por billón (ppt), superando las especificaciones de la Hoja de ruta internacional para dispositivos y sistemas (IRDS) de 50 ppt. El analizador ha sido diseñado en colaboración con fabricantes de semiconductores para satisfacer las necesidades de los responsables de instalaciones, los propietarios de sistemas UPW y los ingenieros de control de procesos UPW. Características:

• Monitorización continua y en línea hasta partes por billón (ppt) de boro
• 20 puntos de datos por hora
• Cumplimiento de las especificaciones de bucle primario y de pulido
• Cumple todos los requisitos para el marcado UKCA y CE
• Opciones multicanal: disponible en un canal y dos canales
• Interfaz gráfica de usuario moderna e intuitiva con pantalla táctil de 10,1 pulgadas con retroiluminación LED multicolor
• Amplia gama de salidas: dos salidas analógicas aisladas de 4-20 mA; dos salidas de alarma; dos salidas binarias aisladas; dos puertos USB 2.0; y un puerto Gigabit Ethernet
• Mantenimiento y consumibles mínimos

Aplicaciones: semiconductores y microelectrónica. Agua de proceso ultrapura/UPW.

• Control de la contaminación
• Cumplimiento normativo
• Optimización de la regeneración de resinas
• Control de procesos

Especificaciones de operación
Rango	0.010 – 100 ppb B
Límite de cuantificación (LOQ)	0.030 ppb B
Límite de detección (LOD)	0.010 ppb B
Exactitud	± 0.01 ppb B, <0.03 ppb B ± 15%, ≥ 0.03 ppb B
Precisión	SD ≤ 0.003 ppb B, ≤  0.100 ppb B RSD ≤ 3%, > 0.100 ppb B
Muestra mínima Resistividad	15 MΩ–cm
Temperatura de la muestra	15°-40°C (59-104°F)
Caudal de muestra	50-400 mL/min
Presión de la muestra	103-689 kPa (15-100 psig)
Estabilidad de calibración	Normalmente 12 meses
Partículas de muestra	Prefiltración de 15 micras
Residuos	Drenaje por gravedad (sin contrapresión), ventilado
Modos de análisis	En línea, promediado y cronometrado en línea
Tiempo de análisis1	3 minutos u 6 minutos
Especificaciones del analizador
Requisitos de energía	100-240 VAC, 40 W, 50/60 Hz
Certificaciones de seguridad	Listado en CE, UKCA, ETL. Cumple con la norma UL 61010-1. Certificado según CSA 22.2 No. 61010-1.
Pantalla	Pantalla LED retroiluminada, 10,1 pulgadas, 1280 x 800 con pantalla táctil
Clasificación IP	IP 45
Entradas	3 entradas binarias aisladas
Salidas	2 salidas analógicas aisladas de 4-20 mA; 2 salidas de alarma; 2 salidas binarias aisladas; 2 puertos USB 2.0 (uno externo, otro interno); Puerto Ethernet de 1 Gigabit;
Protocolos de comunicación	Modbus TCP/IP
Sobretensión transitoria	Instalación (sobretensión) Categoría II (Grado de contaminación ambiental del instrumento 2 asumido con el fin de probar y juzgar la integridad del aislamiento)
Dimensiones	54,2 cm de alto x 59,3 de ancho x 38,8 de profundidad (21,35 de alto x 23,35 de ancho x 15,27 pulgadas de profundidad)
Peso	Vacío: 21,75 kg (48 lb); Con consumibles: 23,1 kg (51 lb)
Espacios libres mínimos (para el control de la temperatura, la humedad y el acceso)	Frente: 48,3 cm (19 pulg); Trasero 2,5 cm (1 pulgadas); Lados: 30,5 cm (12 pulgadas) de cada lado; Parte superior: 30,5 cm (12 pulgadas); Abajo: Los soportes del analizador proporcionan espacio libre para el escritorio.
Configuraciones disponibles	Una o dos secuencias (opcional)
Temperatura ambiente	10-40°C (50-104 °F)
Altitud	Diseñado para su uso en altitudes de hasta 2000 m (6561 pies)
Humedad relativa máxima	Hasta el 95%, sin condensación
Consumibles
Reactivo de boro	45 días a una frecuencia de muestreo de 3 minutos; 90 días a una frecuencia de muestreo de 6 minutos
Columna de reactivo	12 meses
Columna cero	12 meses
Cabezal de bomba peristáltica	12 meses

Boro

Certificaciones de seguridad CE, UKCA, ETL, UL Std. 61010-1 y CSA 22.2 No. 61010-1

Clasificación IP 45

Consultar

Catálogo Aplicación para optimizar el rendimiento de la electrodeionización (EDI)